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용도
맵핑 저항 측정 시스템 MCP-S330
ITO막, 각종 금속박막등의 막두께 분포 및 샘플의 저항율 분포 측정에 적당합니다.
특징
· 측정, 연산, 데이터 처리, 3차원그래프 출력을 자동화하여, 기판사이즈는 최대 300 × 300 mm까지 대응가능
· [Ω], [Ω/□], [Ωcm], [S/cm]을 3차원 그래프 표시
· Loresta-GX(측정범위: 10-4~107Ω)와 접속하여 측정 가능
· 측정 위치 설정은 격자 입력, 라인 입력, 순차입력의 3가지에 더하여, 외부로부터 좌표 데이터 임포트도 가능
· 측정 결과가 지정 범위를 벗어난 측정점을 화면 상에서 비교 가능
주된 측정 대상
■ 금속, ITO박막, 도전성도막, 도전성 필름·시트 등
항목 |
규격 |
유효측정범위 |
X축 : 300 mm Y축 : 300 mm |
대응 샘플 두께 |
0 ~ 40 mm |
프로브 상하 이동폭 |
약 50 mm |
위치 결정 분해능 |
X, Y 축 : 0.1 mm |
반복 위치 결정 정도 |
X, Y 축 : ±0.08 mm Z축 : ±0.1 mm |
맵핑 전용 프로브 |
직렬 4탐침 프로브 핀간 1.0 mm, 1.5 mm, 5mm 피치 |
시료 측정 테이블 |
백색 염화 비닐 시트 또는 유리판 X,Y축 50mm 피치 눈금시트 부착 |
시료의 탈착 |
수동 (자동반송기 등에는 대응하지 않습니다.) |
인터페이스 |
USB |
전원 |
AC 100V ~ 240V (50/60Hz) 63VA |
외형크기·질량 |
약 543W × 492D × 410H (mm) 약 22kg |